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光学显微镜的分辨率即使达到了波动光学的理论极限，委下0万约为200nm，但对微观结构的认识存在局限。同步X射线源较之常规X射线源有许多特点，元补因而发展出许多常规光源不能进行的实验技术，元补主要包括：1、高分辨X射线衍射由于同步辐射光束近亮度高且近似平行，因而可以采用较严格的单色措施，并采用狭缝、加大测角器半径等，测得高θ角范围的弱衍射，从而大大提高分辨率，还具有缩短摄谱时间、利用多波长反常散射分析相位、方便微小晶体作样品，以及避免得出错误的空间群等优点。

对同时存在铁素体、助内贝氏体和马氏体的多相高强钢，助内利用其倒易空间分辨率高的特点，对（200）晶面的重叠衍射峰进行分离，如图5所示，确定了不同相在形变过程当中的晶格应变情况[4]。将光斑沿着掩膜与外延膜界线垂直的方向移动，蒙古做显微衍射，所得结果如图7所示[6]。硬X射线（λ=0.005~0.1nm）穿透力极强，塑料常用于金属探伤与医用透视。

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图7InP衬底上的外延及其显微衍射   4、发改掠射和表明衍射实验室的X射线强度较弱，发改因此主要是利用电子衍射来研究表面，如LEED或RHEED，但因电子不能深入物质内部，因此不能用于界面的研究。

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